アプライドマテリアルズ、全自動ウエハ検査装置を発表

2014.05.20

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 アプライドマテリアルズ(米国カリフォルニア州、ゲイリー・E・ディッカーソン社長兼CEO)は5月20日、太陽電池ウエハの検査装置を発表した。本装置はウエハ検査を製造ライン内で行うことを可能としており、手作業と比較して検査の質が向上するとしている。
 同社が発表したソーラーウエハ検査装置「Applied Vericell TM」はウエハ検査を100%自動化している。高度なPL(フォトルミネセンス)技術や複数のセンサー機能を利用し、回路形成前のウエハから最終セル効率を予測する。平均予測誤差は多結晶シリコンウエハで0.15%以内だという。
 同社の副社長兼ソーラー製品担当GMのジム・ムーリン氏は「ソーラー業界では、高効率化を進めるため高度なセルへの転換が求められており、製造歩留りの管理が最重要課題となっている。歩留り予測と製造における利益性の向上に当社製品が有効であることは現場で実証されている」とコメントしている。

2021.10.14

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2021.03.01

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2021.01.04

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 2020年7月続きを読む

2019.12.31

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2019.01.17

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2018.12.25

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