島津製作所（京都市中京区、中本晃社長）は3月22日、結晶シリコン型太陽電池セル生産プロセス向けに反射防止膜成膜装置「MCXS」および検査装置「SCI」シリーズ2機種を発売すると発表した。
　新たに市場投入するプラズマCVD装置「MCXS」は、新開発のホローカソードプラズマソースおよびダイレクトプラズマを採用したことにより、高スループットでランニングコストを低減、高いPID耐性を有する反射防止膜を成膜する。高密度プラズマは、基板の表面や内部に存在する結晶欠陥を修復、太陽電池の特性を改善させるため、高変換効率化にも寄与するという。
　同社は、独立行政法人産業技術総合研究所が主催する「第II期高信頼性太陽電池モジュール開発・評価コンソーシアム」において、「MCXS」を用いて製作した結晶シリコン型太陽電池モジュールを摂氏25℃、モジュール表面ガラスを水に浸した状態、電圧1000Vの条件下で168時間の試験を実施、高いPID耐性を有することを実証した。
　一方、検査装置「SCI」シリーズでは、マイクロクラックとウエハ外観の1台同時検査を可能にした複合検査装置「SCI-8SM」と業界最小サイズの外観検査装置「SCI-8S」を新たに開発。これらの装置は、太陽電池セルの生産工程で現在、主に人手で行われている検査において、生産性を向上しつつ、品質管理を厳格にする自動化を実現するもので、ライン停止による長期の生産中断の防止や歩留まりの向上に効果を発揮する。
　初年度販売計画は、「MCXS」が20台、「SCI-8SM」が15台、「SCI-8S」が20台としている。